評價范圍：涉及的建（構）筑物：位于杭州灣上虞經濟開發區〔2023〕G4號地的1#生產廠房、特氣房、化學品庫、液氮儲罐、液氬儲罐、廢水站。涉及的原輔料：氫、丙烯、五氯化鉭、氬〔壓縮的或液化的〕、氮〔壓縮的或液化的〕、甲基三氯硅烷、柴油、甲烷、等靜壓石墨、R134a（1，1，1，2-四氟乙烷）、氫氧化鈉，共11種。涉及的工藝：機加工生產工藝、高純半導體用石墨件工藝、涂層石墨件工藝及配套供氣、物料儲運等輔助工藝。涉及的設備、設施：純化爐、涂層爐和數控車床等。與上述工藝系統相配套項目自身的給排水、供配電、動力等公用工程及其他輔助設施。建設項目與周邊環境相互影響；總平面布置。