本項目研發及檢測過程中涉及使用的危險化學品包括：硅烷、氨、氮[液化的]、氬[壓縮的]、氦[壓縮的]、六氟化硫、三氟甲烷、四氟甲烷、八氟環丁烷、氧[壓縮的]、一氧化二氮[壓縮的]、二氯硅烷、正硅酸乙酯、氫氟酸、鹽酸、過氧化氫溶液、丙酮、異丙醇、氫氧化鈉、乙醇[無水]、硫酸、四甲基氫氧化銨、六甲基二硅烷胺、光刻膠等。