項目生產的光掩膜版分為二元鉻膜光掩膜版（傳統型）和相位移型光掩膜版兩大類。其中，二元鉻膜光掩膜版（傳統型）屬于低階產品，工藝過程僅需一次曝光、顯影、蝕刻，無需光阻涂布。冠石科技光掩膜版制造項目（一期Ⅰ）因光阻涂布機及其配套的位置精度測量儀、相位測量儀、烘烤機等設備尚未安裝，故項目第一階段只能實現年產5040片6英寸光掩膜版的生產能力。